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International Conference on Interconnect Technology

Buch | Softcover
316 Seiten
2004
I.E.E.E.Press (Verlag)
978-0-7803-7797-4 (ISBN)
199,95 inkl. MwSt
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Topics discussed in this volume include: metallization; dielectrics; silicide and salicide; CMP/Planarization; dry processing; process integration; internconnect systems; process control/modelling; and reliability.
Erscheint lt. Verlag 9.7.2004
Verlagsort Piscataway NJ
Sprache englisch
Maße 216 x 279 mm
Themenwelt Mathematik / Informatik Informatik Theorie / Studium
Technik Elektrotechnik / Energietechnik
ISBN-10 0-7803-7797-4 / 0780377974
ISBN-13 978-0-7803-7797-4 / 9780780377974
Zustand Neuware
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