Handbook of Silicon Semiconductor Metrology (eBook)

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2001
896 Seiten
CRC Press (Verlag)
978-0-203-90454-1 (ISBN)

Containing more than 300 equations and nearly 500 drawings, photographs, and micrographs,this reference surveys key areas such as optical measurements and in-line calibration methods. It describes cleanroom-based measurement technology used during the manufacture of silicon integrated circuits and covers model-based, critical dimension, overlay

Erscheint lt. Verlag	29.6.2001
Sprache	englisch
Themenwelt	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Elektrodynamik
	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
	Technik ► Umwelttechnik / Biotechnologie
ISBN-10	0-203-90454-0 / 0203904540
ISBN-13	978-0-203-90454-1 / 9780203904541

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