Mikrosystemtechnik

Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
Buch | Softcover
X, 274 Seiten
2006 | 2006
Vieweg & Teubner (Verlag)
978-3-8351-0003-9 (ISBN)

Lese- und Medienproben

Mikrosystemtechnik - Ulrich Hilleringmann
37,99 inkl. MwSt
Lehrbuch und Nachschlagewerk zur Mikrosystemtechnik
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Diejeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.

Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.

Prozesstechnik.- Basisprozesse der Mikrosystemtechnik.- Sensor- und Aktoreffekte.- Monolithisch integrierte Mikrosysteme.- Hybride Systeme.

Erscheint lt. Verlag 25.4.2006
Zusatzinfo X, 274 S.
Verlagsort Wiesbaden
Sprache deutsch
Maße 148 x 210 mm
Gewicht 370 g
Themenwelt Naturwissenschaften Physik / Astronomie Angewandte Physik
Technik Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte Aktuatoren • ATZ elektronik • Berechnung • Berechnungen • Berufsakademie • Branchenindex • BranchenIndex Online • Dozent • driveIT • Elektroingenieur • Elektroingenieure • Elektronik • Entwicklung • Fachinformatiker • Fachschule • Fachschulen • Hardware • Ingenieurstudium • Lehramt • Mikroelektronik • Mikromechanik • Mikrooptik • Mikrosystem (MEMS) • Mikrosystemtechnik • Mikrosystemtechnik; Handbuch/Lehrbuch • Physiker • Privatdozent • Privatdozenten • Prüfungsvorbereitung • Sensor • Sensoren • Siemens • System • Systeme • Systemingenieur • Systemingenieure • Systemtechnik • Teubner • Theorie • VDE • viewegteubner • Vieweg+Teubner • ZVEI
ISBN-10 3-8351-0003-3 / 3835100033
ISBN-13 978-3-8351-0003-9 / 9783835100039
Zustand Neuware
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