Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices
Seiten
1999
Materials Research Society (Verlag)
978-1-55899-452-2 (ISBN)
Materials Research Society (Verlag)
978-1-55899-452-2 (ISBN)
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| Erscheint lt. Verlag | 1.5.1999 |
|---|---|
| Reihe/Serie | Materials Research Society Symposium Proceedings ; 546 |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| ISBN-10 | 1-55899-452-1 / 1558994521 |
| ISBN-13 | 978-1-55899-452-2 / 9781558994522 |
| Zustand | Neuware |
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