Silicon Technologies – Ion Implantation and Thermal Treatment
Seiten
2011
John Wiley & Sons Inc (Hersteller)
978-1-118-60104-4 (ISBN)
John Wiley & Sons Inc (Hersteller)
978-1-118-60104-4 (ISBN)
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The main purpose of this book is to remind new engineers in silicon foundry, the fundamental physical and chemical rules in major Front end treatments: oxidation, epitaxy, ion implantation and impurities diffusion.
Annie Baudrant, Director of Program Coordination, Technologies and Compounds Management, CEA-LETi.
| Verlagsort | New York |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Maße | 162 x 227 mm |
| Gewicht | 371 g |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| ISBN-10 | 1-118-60104-1 / 1118601041 |
| ISBN-13 | 978-1-118-60104-4 / 9781118601044 |
| Zustand | Neuware |
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