Introduction to Surface-Micromachining - Robert W. Johnstone, Ash Parmaswaran

Introduction to Surface-Micromachining (eBook)

Robert W. Johnstone, Ash Parmaswaran (Autoren)

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2004
Springer US (Verlag)
978-1-4020-8021-0 (ISBN)

An Introduction to Surface-Micromachining provides for the first time a unified view of surface-micromachining. Building up from the basic building block of microfabrication techniques, to the general surface-micromachining design, it will finish with the theory and design of concrete components. An Introduction to Surface-Micromachining connects the manufacturing process, microscale phenomena, and design data to physical form and function. This book will be of interest to mechanical engineers looking to scale down into micromachining and microelectronics designers looking to move horizontally to micromachining.

Erscheint lt. Verlag	31.5.2004
Sprache	englisch
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Themenwelt	Technik ► Maschinenbau
ISBN-10	1-4020-8021-2 / 1402080212
ISBN-13	978-1-4020-8021-0 / 9781402080210

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