Advanced Microlithography 2007
2007
SPIE Press (Hersteller)
978-0-8194-6641-9 (ISBN)
SPIE Press (Hersteller)
978-0-8194-6641-9 (ISBN)
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| Erscheint lt. Verlag | 15.4.2007 |
|---|---|
| Reihe/Serie | Proceedings of SPIE ; CDS249 |
| Verlagsort | Bellingham |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| ISBN-10 | 0-8194-6641-7 / 0819466417 |
| ISBN-13 | 978-0-8194-6641-9 / 9780819466419 |
| Zustand | Neuware |
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