13th Annual Symposium on Photomask Technology and Management
Proceedings: 22-23 September 1993, Santa Clara, California
Seiten
1994
SPIE-International Society for Optical Engineering (Verlag)
978-0-8194-1356-7 (ISBN)
SPIE-International Society for Optical Engineering (Verlag)
978-0-8194-1356-7 (ISBN)
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| Erscheint lt. Verlag | 1.1.1994 |
|---|---|
| Reihe/Serie | SPIE Proceedings ; 2087 |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| ISBN-10 | 0-8194-1356-9 / 0819413569 |
| ISBN-13 | 978-0-8194-1356-7 / 9780819413567 |
| Zustand | Neuware |
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